從上海硅酸鹽研究所獲悉，日前，20余臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的碳化硅晶體生產(chǎn)爐已成功穩(wěn)定生產(chǎn)高質(zhì)量碳化硅晶體。據(jù)碳化硅晶體項目部晶體生長組組長嚴成鋒介紹，自主研制新一代中用晶體爐可以打破發(fā)達國家技術(shù)壟斷，大大提升我國第三代半導(dǎo)體核心材料的自主研發(fā)生產(chǎn)能力。在項目部的一間測試實驗室內(nèi)，項目部薄膜與測試小組組長劉學(xué)超說，項目部研制的晶體材料，都需要在這些檢測機器上完成表征測試，并按照國際標準，對晶體質(zhì)量的表征進行逐項比對，確保每項數(shù)據(jù)都合格。隨著項目進入關(guān)鍵階段，每天的質(zhì)量測試工作差不多有十幾個小時。

據(jù)介紹，當上海硅酸鹽研究所承接國家第三代半導(dǎo)體核心材料碳化硅晶體自主研發(fā)項目時，讓很多從事這一領(lǐng)域的科研人員十分振奮，迅速由兩個相關(guān)課題組合并成為一個大項目部，來自上海、福建、河南、湖北、陜西等各個省市的研發(fā)團隊中，70%以上的人都具有博士學(xué)位。嚴成鋒表示，現(xiàn)在，該項目部已經(jīng)掌握了從原料到晶體生長、加工、清洗、檢測直至用戶生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的全部技術(shù)。

來源：中國質(zhì)量報

　　版權(quán)及免責(zé)聲明：凡本網(wǎng)所屬版權(quán)作品，轉(zhuǎn)載時須獲得授權(quán)并注明來源“中國產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟信息網(wǎng)”，違者本網(wǎng)將保留追究其相關(guān)法律責(zé)任的權(quán)力。凡轉(zhuǎn)載文章，不代表本網(wǎng)觀點和立場。版權(quán)事宜請聯(lián)系：010-65363056。

延伸閱讀